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HTFB1200型复合分子泵

晨怡热管 http://nx8.net/news/30/ 2006-10-2 0:49:44
日期:2005-5-3 11:59:40 来源:原创 查看:[大 中 小] 作者:未知 热度:

[分类]真空泵
[型号]HTFB1200型复合分子泵
[设备介绍]

    HT复合分子泵在高压强区域内抽速、压缩比的提高大大缩短了应用系统及设备反复充气后工作真空极限的恢复时间,速度比油扩散泵快;
    HT复合分子泵是由高速旋转的叶轮转子与固定的静叶轮相对运动抽除、携带、传输气体分子排出,不用冷阱和挡油板,被抽空间清洁无油污染,是油扩散泵采用任何防油污染措施都达不到的。
    HT复合分子泵主要应用领域有:
    -光谱仪器,电子显微镜;
    -表面物理和分析仪器(ESCA,AOGER,SIMS Spectromelry)
    -原子、分子束系统,靶室、离子加速器;
    -各种真空镀膜设备;
    -电子管生产(如X...roy管),热管生产,图象转换管,电子显象管;
    -半导体器件过程工艺,如等离子刻蚀;化学气相沉积,晶体外延生长,离子注入等;光学器件的过程工艺;
    -高温炉,空间研究;
    -做为吸附泵、溅射离子泵,低温泵的超高真空系统的前级泵。

 
 
 
技术参数:
 
高真空法兰(mm)
NW200CF
前级管道法兰(mm)
NW40KF
放气法兰(mm)
NW16KF
抽气速率(l/s)升/秒
分子流
1帕
6帕
1200
100
600
压缩比
〉109
〉1 x 104
极限压力(Pa)帕
1.5 x 10-8
电机转速(v/min)转/分
24000
启动时间(min)分
<
建议采用的前级泵
机械泵8 l/s
充油量(ml)毫升
——
冷却方式
水冷
冷却水温度
<
冷却水压力(kgf/cm2)公斤/厘米2
——
泵体烘烤温度
100±10°C
加热器功率(W)瓦
——
加热器输入电压(v)伏
220V
安装方式
垂直±5°
泵重量(kg)公斤
36.5

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